技
术
使用RAON VWC-1300, 金属会以高的速率沉淀在薄膜的两边去行成一个多层的层次.
反应气体跟氩 (Argon)气管装备了离子束枪源
相关技术配备
多重室箱系统是由绕组,反卷,重卷,预处理,涂布
组成的
在涂布的时候, 系统有两个涂布滚筒会冷却薄膜
给涂布滚筒用的冷却/加热装备
帮浦装备有三个扩散帮浦做短吸气
预处理过程是使用离子束源而完成的
有六个标准的直流(DC)磁控管用来进行
金属的溅镀过程
电子控制的绕组系统有六个操纵引擎
技术数据
基版 材料 塑料薄膜 (PET,
PES, etc.) 宽度可达1300mm,
厚度在25um~200um
卷筒直径 max. 380mm
工作速度 2 M/min
详细资料参阅,
请下载档案:
Web
Coater 1300- ITO-Chinese.doc
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